ポリシクロオレフィン

PCO（環状オレフィン樹脂）

脂環式骨格由来の性質により、高い熱安定性、低吸水性、さらに光線透過率に優れているなどの特徴を持っています。

脂環式モノマーによる付加重合体は剛直な構造により優れた脂環式骨格の性質を発現することができ、さらにガラス転移点が250度以上と高い耐熱性を示します。また、異種モノマーと共重合させることでガラス転移点を上下に制御することも可能です。

側鎖官能基をご用途に合わせて設計することで、目的の機能が得られます。
例えばレジスト用途に適切な官能基を導入する事で、ポジ型や、ネガ型のアルカリ現像可能なパターニング用材料への適用が可能です。

ポジ型感応膜として半導体や、表示体、半導体などのフォトレジスト用に使用することができ、感光剤を添加することでポジ型レジストとして機能​​​​を発現します。官能基にアルカリ可溶性や溶剤可溶性の置換基を導入することで、アルカリ現像することができます。

ネガ型感光膜として半導体や、表示体などのフォトレジスト用に使用することができ、ネガ型レジストとして有効な機能を発現します。官能基にアルカリ可溶性や架橋性基を付けることでネガタイプレジスト用樹脂として機能を発現します。

マスクを介してUVを照射することで、光架橋性の硬化反応も適用可能です。露光後にアルカリ現像を行うことで、ネガ型のパターン形成できます。